Принц-технология
Страница 1

Термин: Принц-технология, термин на английском: Prince-technology, связанные термины: полупроводники, молекулярно-пучковая эпитаксия, нанотрубки, литография

Определение: Метод формирования трёхмерных микро- и наноструктур, основанный на отделении напряжённых полупроводниковых плёнок от подложки и последующего сворачивания их в пространственный объект.

Описание

Для демонстрации возможности формирования трёхмерных структур использовались выращенные на подложке арсенида галлия (GaAs) (с жертвенным слоем AlAs) напряжённые двухслойные плёнки (GaAs/InGaAs, где GaAs внешний слой), выращенные при помощи метода молекулярно — пучковой эпитаксии. Тонкая плёнка (несколько монослоёв) напряжена поскольку постоянная решётки ненапряжённого слоя тройного соединения InGaAs больше, чем у GaAs (поэтому при росте получается сжатый слой InGaAs) и при отделении от подложки она стремится распрямиться, что создаёт закручивающий момент и приводит в итоге к сворачиванию плёнки. Для отделения биплёнки, используется селективный (то есть для которого скорости травления различных веществ сильно различаются) жидкостный травитель (водный раствор HF), который удаляет жертвенный слой AlAs, не затрагивая другие соединения. При сворачивании получается рулон (или трубка), который может состоять из многих десятков витков. При использовании монослоёв веществ типа GaAs/InAs (рассогласование постоянных решёток достигает 7 %) можно получить полупроводниковые нанотрубки диаметром до 2 нм, которые, в отличие от углеродных нанотрубок, могут быть сформированы в определённых местах на подложке и с заданными диаметрами с помощью литографии. Эти свободные двухслойные плёнки состоящие из двух атомных слоёв различных материалов обладают совершенной атомарной структурой, изначально присущей плоской плёнке на поверхности подложки.

Другие статьи из раздела

В Германии введена залоговая плата за одноразовую упаковку

Ежегодно средний европеец выбрасывает до 100 кг упаковочной тары. В Европейском Союзе всерьез обеспокоены проблемой утилизации металлической и пластиковой упаковки. Захоронение отходов приводит к увеличению площадей свалок, а сжигание —...


Полимеры вытесняют ацетон из российских красок

В начале 2002 года на Астраханском киномеханическом заводе внедрен инвестиционный проект «Линия полимерно-порошкового покрытия изделий». Завод выпускает продукцию по новой для себя технологии. Вместо химикатов, нитрокрасок и кислот при окрашивании...


Возможно ли современное информационное поле без кристаллохимии?

...Невозможно. Борцы против химии, будьте последовательны – выбросьте свои телевизоры, компьютеры и мобильники! Ибо сверхчистый кремний для микросхем является продуктом кристаллохимии. Кристаллохимия изучает законы расположения атомов и типы симметрии...