Принц-технология
Страница 1

Термин: Принц-технология, термин на английском: Prince-technology, связанные термины: полупроводники, молекулярно-пучковая эпитаксия, нанотрубки, литография

Определение: Метод формирования трёхмерных микро- и наноструктур, основанный на отделении напряжённых полупроводниковых плёнок от подложки и последующего сворачивания их в пространственный объект.

Описание

Для демонстрации возможности формирования трёхмерных структур использовались выращенные на подложке арсенида галлия (GaAs) (с жертвенным слоем AlAs) напряжённые двухслойные плёнки (GaAs/InGaAs, где GaAs внешний слой), выращенные при помощи метода молекулярно — пучковой эпитаксии. Тонкая плёнка (несколько монослоёв) напряжена поскольку постоянная решётки ненапряжённого слоя тройного соединения InGaAs больше, чем у GaAs (поэтому при росте получается сжатый слой InGaAs) и при отделении от подложки она стремится распрямиться, что создаёт закручивающий момент и приводит в итоге к сворачиванию плёнки. Для отделения биплёнки, используется селективный (то есть для которого скорости травления различных веществ сильно различаются) жидкостный травитель (водный раствор HF), который удаляет жертвенный слой AlAs, не затрагивая другие соединения. При сворачивании получается рулон (или трубка), который может состоять из многих десятков витков. При использовании монослоёв веществ типа GaAs/InAs (рассогласование постоянных решёток достигает 7 %) можно получить полупроводниковые нанотрубки диаметром до 2 нм, которые, в отличие от углеродных нанотрубок, могут быть сформированы в определённых местах на подложке и с заданными диаметрами с помощью литографии. Эти свободные двухслойные плёнки состоящие из двух атомных слоёв различных материалов обладают совершенной атомарной структурой, изначально присущей плоской плёнке на поверхности подложки.

Другие статьи из раздела

Опыт дистанционного консультирования проектных работ школьников

Цикл лекций в рамках XI Всероссийской Интернет-олимпиады по нанотехнологиям для всех желающих – школьников, студентов, аспирантов, молодых ученых, учителей и преподавателей: Опыт дистанционного консультирования проектных работ школьников. Георгий Владимирович Максимов, д.б.н., профессор, Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова.


Квазикристаллы созданы природой

Не смотря на то, что впервые ученый Даниэль Шехтман опубликовал свою статью о квазикристаллах, точнее подробное их открытие в 1984 году, Нобелевскую премию он получил только сейчас, а именно в 2011 году.


Что такое «Шнобелевская» премия?

..., медицины и химии до литературы и премии мира. Настоящие нобелевские лауреаты - в бутафорских очках, с накладными носами, в фесках и подобного рода атрибутах - приходят, чтобы вручить лауреатам Ig Nobel их награды. По величавому театру на 1166 мест...