Принц-технология
Страница 1

Термин: Принц-технология, термин на английском: Prince-technology, связанные термины: полупроводники, молекулярно-пучковая эпитаксия, нанотрубки, литография

Определение: Метод формирования трёхмерных микро- и наноструктур, основанный на отделении напряжённых полупроводниковых плёнок от подложки и последующего сворачивания их в пространственный объект.

Описание

Для демонстрации возможности формирования трёхмерных структур использовались выращенные на подложке арсенида галлия (GaAs) (с жертвенным слоем AlAs) напряжённые двухслойные плёнки (GaAs/InGaAs, где GaAs внешний слой), выращенные при помощи метода молекулярно — пучковой эпитаксии. Тонкая плёнка (несколько монослоёв) напряжена поскольку постоянная решётки ненапряжённого слоя тройного соединения InGaAs больше, чем у GaAs (поэтому при росте получается сжатый слой InGaAs) и при отделении от подложки она стремится распрямиться, что создаёт закручивающий момент и приводит в итоге к сворачиванию плёнки. Для отделения биплёнки, используется селективный (то есть для которого скорости травления различных веществ сильно различаются) жидкостный травитель (водный раствор HF), который удаляет жертвенный слой AlAs, не затрагивая другие соединения. При сворачивании получается рулон (или трубка), который может состоять из многих десятков витков. При использовании монослоёв веществ типа GaAs/InAs (рассогласование постоянных решёток достигает 7 %) можно получить полупроводниковые нанотрубки диаметром до 2 нм, которые, в отличие от углеродных нанотрубок, могут быть сформированы в определённых местах на подложке и с заданными диаметрами с помощью литографии. Эти свободные двухслойные плёнки состоящие из двух атомных слоёв различных материалов обладают совершенной атомарной структурой, изначально присущей плоской плёнке на поверхности подложки.

Другие статьи из раздела

Мировой рынок стирола: спрос и перспективы развития

Прогнозируемый рост спроса на стирол составит 4,6 % в год. К 2006 году годовые потребности в данном продукте достигнут 26 млн тонн. Самые высокие темпы роста спроса предполагаются в Южной...


Любовь, красота, улыбка или... импринтинг?

... одно любим, другое – нет? Гормональный ли фон это, настроение, химия в организме, результат жизненного опыта или социальные заморочки? Самая простая модель механизма оценки предполагает, что наши вкусы – результат нашего опыта. К примеру, случилось...


Спад на рынках конечной продукции наносит вред производству литиевых химикатов

Поставщики дериватов лития утверждают, что они пострадали вдвойне – от спада на фармацевтическом рынке и сокращения темпов роста на рынке батарей. В 2001 году продажи лития могут немного увеличиться, однако...