Принц-технология
Страница 1

Термин: Принц-технология, термин на английском: Prince-technology, связанные термины: полупроводники, молекулярно-пучковая эпитаксия, нанотрубки, литография

Определение: Метод формирования трёхмерных микро- и наноструктур, основанный на отделении напряжённых полупроводниковых плёнок от подложки и последующего сворачивания их в пространственный объект.

Описание

Для демонстрации возможности формирования трёхмерных структур использовались выращенные на подложке арсенида галлия (GaAs) (с жертвенным слоем AlAs) напряжённые двухслойные плёнки (GaAs/InGaAs, где GaAs внешний слой), выращенные при помощи метода молекулярно — пучковой эпитаксии. Тонкая плёнка (несколько монослоёв) напряжена поскольку постоянная решётки ненапряжённого слоя тройного соединения InGaAs больше, чем у GaAs (поэтому при росте получается сжатый слой InGaAs) и при отделении от подложки она стремится распрямиться, что создаёт закручивающий момент и приводит в итоге к сворачиванию плёнки. Для отделения биплёнки, используется селективный (то есть для которого скорости травления различных веществ сильно различаются) жидкостный травитель (водный раствор HF), который удаляет жертвенный слой AlAs, не затрагивая другие соединения. При сворачивании получается рулон (или трубка), который может состоять из многих десятков витков. При использовании монослоёв веществ типа GaAs/InAs (рассогласование постоянных решёток достигает 7 %) можно получить полупроводниковые нанотрубки диаметром до 2 нм, которые, в отличие от углеродных нанотрубок, могут быть сформированы в определённых местах на подложке и с заданными диаметрами с помощью литографии. Эти свободные двухслойные плёнки состоящие из двух атомных слоёв различных материалов обладают совершенной атомарной структурой, изначально присущей плоской плёнке на поверхности подложки.

Другие статьи из раздела

Сверхрешетки и энергетические характеристики

Продолжается цикл познавательных материалов о сверхрешетках. В предыдущих публикациях уже шла речь об основных типах сверхрешеток, их структуре, базовых физических понятиях, таких например, как квантовая яма. С этой публикации начинается рассказ об основных задачах, возникающих у исследующих эти структуры. В данном материале рассмотрим электронные свойства сверхрешеток. В дальнейшем планируется описать оптические свойства и коллективные колебания в сверхрешетках.


В Москве проводится 4-я Международная специализированная выставка «Фармтех 2002»

В выставочном комплексе на Красной Пресне со 2 по 6 декабря 2002 года проводится 4-я московская международная специализированная выставка «Фармтех 2002 — технологии фармацевтической индустрии», посвященная производству фармацевтических препаратов: субстанциям,...


Обзор мирового рынка моющих средств

На мировом рынке бытовых моющих средств и детергентов наблюдается устойчивая тенденция дальнейшего расширения зоны коммерческого присутствия ведущих мировых производителей. Крупнейшие компании, такие как Procter&Gamble и Henkel, полностью насытили своей продукцией...