Жидкостное химическое травление
Страница 28

действует как сильный окислитель при травлении металла, и травление в боковом направлении ускоряется. Адсорбция газов на боковой стенке (рис. 17) использовалась также для снижения бокового подтравливания Al при его травлении в Н3РО4. Снижение давления в камере травления с 105 до 103 Па приводило к уменьшению подтравливания с 0.8 до 0.4 мкм. В результате адсорбции мелких пузырьков водорода на боковой стенке на ней образовывался эффективный диффузионный барьер.

Для снижения бокового подтравливания Al с 1.0 до 0. 25 мкм было предложено несколько травителей (табл. 9), содержащих добавки сахарозы (полиспирта) и ПАВ.

Таблица 9. Травители для алюминия.

Травитель

Резист1)

Применение

1. Na3PO4, Na2CO3, K3FeCN6

2. K3FeCN6

3. H3PO4, HCLO4, H2O, ПАВ

4. H3PO4, HNO3, ПАВ, сахароза

5. HCl

6. HCl, HNO3, Cu(NO3)2

7. Щелочь, изопропанол

8. ДНХ-проявитель

ДХН, АК

АК

ДХН,АК

АК

АК

Другие статьи из раздела

Химическое равновесие

Если смешать газообразные водород и кислород, то взаимодействие между ними в обычных условиях не происходит. Заметные количества воды (водяного пара) начинают очень медленно образовываться лишь примерно с 400 °С. Дальнейшее нагревание исходной смеси настолько ускоряет процесс соединения, что выше 600 °С реакция протекает со взрывом, т. е. моментально...


Золото и его переработка

Основные свойства Начинать разговор о золоте лучше всего со свойств этого металла и только потом переходить к тому, как эти свойства используются человеком. Золото интересно тем, что в его характеристиках весьма часто употребляется слово “очень”, но редко “самый”, так как до “самого” этому металлу поч...


Химические элементы в организме человека.

Многие учёные считают, что в живом организме не только присутствуют все химические элементы, но каждый из них выполняет определённую биологическую функцию. Достоверно установлена роль около 30 химических элементов, без которых организм человека не может нормально существовать. Эти элементы называют жизненно необходимыми. Организм человека состоит н...