Жидкостное химическое травление
Страница 28

действует как сильный окислитель при травлении металла, и травление в боковом направлении ускоряется. Адсорбция газов на боковой стенке (рис. 17) использовалась также для снижения бокового подтравливания Al при его травлении в Н3РО4. Снижение давления в камере травления с 105 до 103 Па приводило к уменьшению подтравливания с 0.8 до 0.4 мкм. В результате адсорбции мелких пузырьков водорода на боковой стенке на ней образовывался эффективный диффузионный барьер.

Для снижения бокового подтравливания Al с 1.0 до 0. 25 мкм было предложено несколько травителей (табл. 9), содержащих добавки сахарозы (полиспирта) и ПАВ.

Таблица 9. Травители для алюминия.

Травитель

Резист1)

Применение

1. Na3PO4, Na2CO3, K3FeCN6

2. K3FeCN6

3. H3PO4, HCLO4, H2O, ПАВ

4. H3PO4, HNO3, ПАВ, сахароза

5. HCl

6. HCl, HNO3, Cu(NO3)2

7. Щелочь, изопропанол

8. ДНХ-проявитель

ДХН, АК

АК

ДХН,АК

АК

АК

Другие статьи из раздела

Фракционный состав нефтей и конденсатов

Рис. 1.1. Фракционный состав нефтей и конденсатов. Конденсаты: 1 – Харасавейский; 2 – Печорокожвинский; 3 – Уренгойский; 4 – Василковский; 5 – Вуктыльский; 6 – Средневиюльский; 7 – Нефть СМТО; 8 – ДК. Рисунок 1.2. 1 - коромысло; 2 – неподвижный штатив; 3 – регулировочн...


ХИМИЯ в биологии, медицине и производстве лекарственных препаратов

Современное человеческое общество живет и продолжает развиваться, активно используя достижения науки и техники, и практически немыслимо остановиться на этом пути или вернуться назад, отказавшись от использования знаний об окружающем мире, которыми человечество уже обладает. Накоплением этих знаний, поиском закономерностей в них и их применением на ...


Сложные эфиры

                   ...