Жидкостное химическое травление
Страница 28

действует как сильный окислитель при травлении металла, и травление в боковом направлении ускоряется. Адсорбция газов на боковой стенке (рис. 17) использовалась также для снижения бокового подтравливания Al при его травлении в Н3РО4. Снижение давления в камере травления с 105 до 103 Па приводило к уменьшению подтравливания с 0.8 до 0.4 мкм. В результате адсорбции мелких пузырьков водорода на боковой стенке на ней образовывался эффективный диффузионный барьер.

Для снижения бокового подтравливания Al с 1.0 до 0. 25 мкм было предложено несколько травителей (табл. 9), содержащих добавки сахарозы (полиспирта) и ПАВ.

Таблица 9. Травители для алюминия.

Травитель

Резист1)

Применение

1. Na3PO4, Na2CO3, K3FeCN6

2. K3FeCN6

3. H3PO4, HCLO4, H2O, ПАВ

4. H3PO4, HNO3, ПАВ, сахароза

5. HCl

6. HCl, HNO3, Cu(NO3)2

7. Щелочь, изопропанол

8. ДНХ-проявитель

ДХН, АК

АК

ДХН,АК

АК

АК

Другие статьи из раздела

Влияние фенола на окружающую среду

Введение Исторически сложилось так, что технология почти всех химических производств разрабатывалась без учета ее влияния на окружающую среду. Действительно, технология целлюлозы и нефти начала создаваться в то время, когда незначительные масштабы производства не вызывали большого загрязнения окружающей среды. Естественно, эти вопросы не привлекали...


Титан

ВВЕДЕНИЕ Вероятно, почти о каждом из107 известных ныне элементов написаны научные монографии. Не раз предпринимались попытки рассказать обо всех элементов сразу, но в этом реферате рассказано о металле будущего - титане. До 1795 г. элемент №22 назывался "менакином". Так назвал его в 1791 г. английский химик и минеролог Уильям Грегор, открывший новы...


Моделирование процессов переработки пластмасс

Курсовая работа содержит расчет температурного поля литникового канала литьевой формы, теоретические сведения о процессах происходящих в химической технологии связанных с охлаждением и нагреванием материалов, построение математической модели описывающую теплообмен между бесконечно-длинным цилиндром и его поверхностью, описание переменных входящих в модель. Разработана программа описывающая охлаждение полистирольного литника формы.