Жидкостное химическое травление
Страница 27

         Al2O3  ¾медленно®  Al  ¾-3еHNO3®  Al3+   ¾быстро®

            ¾быстро® Пленка ¾медленно® Растворимый AlPO4.       (40)

Вода в фосфорной кислоте препятствует растворению Al2O3, но она способствует растворению вторичного продукта AlPO4. Сила тока пропорциональна скорости травления. Если ток приложен к алюминию, то отмечается анизотропия травления.

Энергия активации травления Al в H3PO4/HNO3 равна 13.2 ккал/моль, что предполагает ограничение процесса скоростью растворения Al2O3 в H3PO4. Выделяемый газ есть смесь Н2, NO и NO2. Адсорбция газов на поверхности Al  является постоянной проблемой при использовании вязких травителей. Пузырьки способны замедлять травление - под ними образуются островки недотравленного металла, которые могут замыкать близко расположенные проводники.



Рис. 17. Образование пузырьков во время жидкостного травления пленки железоникелевого сплава. Преимущест-венная адсорбция газообразных продуктов на боковой стенке ограничивает боковое подтравливание.
Неожиданным примене-нием адсорбции пузырь-ков явилось ее исполь-зование для сглаживания краев профиля при травлении железонике-левых пленок в HNO3 (рис. 17). Как только начинается процесс трав-ления, пузырьки окиси азота собираются вдоль боковой кромки. Адсор-бированный промежуточ-ный продукт NO2



Другие статьи из раздела

Термодинамика

РАСЧЕТНО – ГРАФИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ по курсу «Физическая химия» раздел «Термодинамика» вариант № 1-6


Жизнь и деятельность Сванте Аррениуса

Главное, что внёс в науку С.Аррениус – это теория электролитической диссоциации и представление об энергии активации в химических реакциях. Его открытия относятся к числу таких, которые состав­ляют базу современной химии...


Свойства и получение ксантогенатов целлюлозы

Введение.......................................................................................................... Строение макромолекулы целлюлозы......................................................... 1. Получение ксантогенатов целлюлозы.................................................... 1.1 Условия получения ксантогенатов ц...