Жидкостное химическое травление
Страница 23

Минимальное подтравливание

Общее травление

Подтравливание плоскости (100)

Маска из резиста AZ-1350

Скорости травления, Si/ФСС=2/1

Поликристаллический Si

Таблица 7. Анизотропные травители для кремния.

Травитель

Применение

Этиледиамин, пирокатехин, H7O

Этиледиамин, пирокатехин

Гидразин, ИПС, H2O

КОН, sec-спирты

КОН, этиленгликоль

Диамины, КОН, ИПС

КОН, ИПС, H2O

R3N+OH, ИПС, H2O

R3N+OH, поверхностно-активное ве-щество

R3N+OH

H3PO4+следы As2O3

CuF2, маска из резиста AZ-1350

100

SiO2, Si3N4, выявление точечных проколов

100, Al-маска

100

Текструрирование элементов солнеч-ных батарей

Не разрушается Al

100

100

H2

Устранение Na+ из травителя

n-тип

Электролитическое травление

Травление многослойных структур.

Травление различных слоев многослойной структуры проводится в одном травителе простого или сложного состава. Желательно пользоваться однокомпонентным травителем. Основная проблема заключается в выборе травителя, обеспечивающего одинаковую скорость травления всех слоев, что предотвращает образование “елочного” профиля. Наиболее интенсивно изучалось травление сандвича Si3N4/SiO2, равенство скоростей травления которого требуется для получения окон с гладкими наклонными стенками. Пленки Si3N4 травятся лишь в HF или в кипящей H3PO4 при 180оС. В столь жестких условиях ни один из органических резистов не выдерживает. Травление Si3N4 в HF происходит по тому же закону, который определил Джадж для травления SiO2:

Другие статьи из раздела

Технологические и экономические аспекты получения диметилового эфира терефталевой кислоты.

ДИМЕТИЛОВЫЙ ЭФИР ТЕРЕФТАЛЕВОЙ КИСЛОТЫ, ДИМЕТИЛТЕРЕФТАЛАТ, ТЕРЕФТАЛЕВАЯ КИСЛОТА, СПОСОБЫ ПРОИЗВОДСТВА, ПАРАКСИЛОЛ, РЕКТИФИКАЦИЯ, ЦЕЛЕВОЙ ПРОДУКТ, ПОБОЧНЫЕ ПРОДУКТЫ, СЕБЕСТОИМОСТЬ ПРОИЗВОДСТВА, ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ СХЕМА. В работе производится анализ литературных данных о различных способах производства диметилового эфира терефталевой кислоты различными с...


Утилизация мусора

&n...


Химическая термодинамика

В результате химической реакции выделяется или поглощается энергия, так как реакция сопровождается перестройкой энергети­ческих уровней атомов или молекул веществ, участвующих в ней, и веществ, образующихся в ходе реакции. Реакции, при которых наблюдается выделение энергии, назы­ваются экзотермическими (Q>0). Реакции, идущие с поглощение...