Жидкостное химическое травление
Страница 23

Минимальное подтравливание

Общее травление

Подтравливание плоскости (100)

Маска из резиста AZ-1350

Скорости травления, Si/ФСС=2/1

Поликристаллический Si

Таблица 7. Анизотропные травители для кремния.

Травитель

Применение

Этиледиамин, пирокатехин, H7O

Этиледиамин, пирокатехин

Гидразин, ИПС, H2O

КОН, sec-спирты

КОН, этиленгликоль

Диамины, КОН, ИПС

КОН, ИПС, H2O

R3N+OH, ИПС, H2O

R3N+OH, поверхностно-активное ве-щество

R3N+OH

H3PO4+следы As2O3

CuF2, маска из резиста AZ-1350

100

SiO2, Si3N4, выявление точечных проколов

100, Al-маска

100

Текструрирование элементов солнеч-ных батарей

Не разрушается Al

100

100

H2

Устранение Na+ из травителя

n-тип

Электролитическое травление

Травление многослойных структур.

Травление различных слоев многослойной структуры проводится в одном травителе простого или сложного состава. Желательно пользоваться однокомпонентным травителем. Основная проблема заключается в выборе травителя, обеспечивающего одинаковую скорость травления всех слоев, что предотвращает образование “елочного” профиля. Наиболее интенсивно изучалось травление сандвича Si3N4/SiO2, равенство скоростей травления которого требуется для получения окон с гладкими наклонными стенками. Пленки Si3N4 травятся лишь в HF или в кипящей H3PO4 при 180оС. В столь жестких условиях ни один из органических резистов не выдерживает. Травление Si3N4 в HF происходит по тому же закону, который определил Джадж для травления SiO2:

Другие статьи из раздела

Технология получения твердых веществ с заданными свойствами

СПОСОБЫ КРИСТАЛЛИЗАЦИИ Для осуществления процесса кристаллизации в растворе необходимо создать пересыщение. По способам его создания различают два основных ме­тода кристаллизации: 1) охлаждение горячих насыщенных растворов (изогидрическая или политермическая кристаллизация) и 2) удаление части растворителя путем выпаривания (изотермическая крис...


Третья группа периодической системы

Атомы элементов данной группы содержат во внешнем слое максимально по три электрона. Поэтому тенденция к дальнейшему присоединению электронов (с пополнением внешнего слоя до октета) не может быть для них характерна. Напротив, металлические свойства бора и его аналогов должны быть выражены сильнее, чем у соответствующих элементов четвёртой группы...


Фосфор и его соединения

Введение Пятая группа Периодической системы включает два типических элемента азот и фосфор – и подгруппы мышьяка и ванадия. Межд...