Жидкостное химическое травление
Страница 23

Минимальное подтравливание

Общее травление

Подтравливание плоскости (100)

Маска из резиста AZ-1350

Скорости травления, Si/ФСС=2/1

Поликристаллический Si

Таблица 7. Анизотропные травители для кремния.

Травитель

Применение

Этиледиамин, пирокатехин, H7O

Этиледиамин, пирокатехин

Гидразин, ИПС, H2O

КОН, sec-спирты

КОН, этиленгликоль

Диамины, КОН, ИПС

КОН, ИПС, H2O

R3N+OH, ИПС, H2O

R3N+OH, поверхностно-активное ве-щество

R3N+OH

H3PO4+следы As2O3

CuF2, маска из резиста AZ-1350

100

SiO2, Si3N4, выявление точечных проколов

100, Al-маска

100

Текструрирование элементов солнеч-ных батарей

Не разрушается Al

100

100

H2

Устранение Na+ из травителя

n-тип

Электролитическое травление

Травление многослойных структур.

Травление различных слоев многослойной структуры проводится в одном травителе простого или сложного состава. Желательно пользоваться однокомпонентным травителем. Основная проблема заключается в выборе травителя, обеспечивающего одинаковую скорость травления всех слоев, что предотвращает образование “елочного” профиля. Наиболее интенсивно изучалось травление сандвича Si3N4/SiO2, равенство скоростей травления которого требуется для получения окон с гладкими наклонными стенками. Пленки Si3N4 травятся лишь в HF или в кипящей H3PO4 при 180оС. В столь жестких условиях ни один из органических резистов не выдерживает. Травление Si3N4 в HF происходит по тому же закону, который определил Джадж для травления SiO2:

Другие статьи из раздела

Атом

Согласно кинетической теории газов лишь очень небольшая (при обычных условиях примерно одна десятитысячная) доля всего объёма газа занята самими молекулами, которые находятся в состоянии непрерывного беспорядочного движения. Каждая молекула ежесекундно несколько миллиардов раз сталкивается с другими, поэтому средняя длина её свободного пробега измеряется лишь десятками миллиметров...


Дмитрий Иванович Менделеев

Биография. Дмитрий Иванович Менделеев (1834-1907) - великий русский ученый-энциклопедист, химик, физик, технолог, геолог и даже метеоролог. Менделеев обладал удивительно ясным химическим мышлением, он всегда ясно представлял конечные цели своей творческой работы: предвидение и пользу. Он писал: "Ближайший предмет химии составляет изучение однородны...


Серебро. Общая характеристика

СЕРЕБРО Ag Базовые характеристики Порядковый номер 47 Атомный вес 107,870 у.е. Валентность I, (II), (III) Заряд 1+, (2+), (3+) Массовые числа природных изотопов 107, 109 Электронная структура атома меди К L-М 4s24p64d105s1 Электронная структура атома меди и катиона Ag+ для 4d и 5s-орбиталей Ag Ag+ ИСТОРИЧЕСКАЯ СПРАВКА Серебро является одним из тех ...