Жидкостное химическое травление
Страница 23

Минимальное подтравливание

Общее травление

Подтравливание плоскости (100)

Маска из резиста AZ-1350

Скорости травления, Si/ФСС=2/1

Поликристаллический Si

Таблица 7. Анизотропные травители для кремния.

Травитель

Применение

Этиледиамин, пирокатехин, H7O

Этиледиамин, пирокатехин

Гидразин, ИПС, H2O

КОН, sec-спирты

КОН, этиленгликоль

Диамины, КОН, ИПС

КОН, ИПС, H2O

R3N+OH, ИПС, H2O

R3N+OH, поверхностно-активное ве-щество

R3N+OH

H3PO4+следы As2O3

CuF2, маска из резиста AZ-1350

100

SiO2, Si3N4, выявление точечных проколов

100, Al-маска

100

Текструрирование элементов солнеч-ных батарей

Не разрушается Al

100

100

H2

Устранение Na+ из травителя

n-тип

Электролитическое травление

Травление многослойных структур.

Травление различных слоев многослойной структуры проводится в одном травителе простого или сложного состава. Желательно пользоваться однокомпонентным травителем. Основная проблема заключается в выборе травителя, обеспечивающего одинаковую скорость травления всех слоев, что предотвращает образование “елочного” профиля. Наиболее интенсивно изучалось травление сандвича Si3N4/SiO2, равенство скоростей травления которого требуется для получения окон с гладкими наклонными стенками. Пленки Si3N4 травятся лишь в HF или в кипящей H3PO4 при 180оС. В столь жестких условиях ни один из органических резистов не выдерживает. Травление Si3N4 в HF происходит по тому же закону, который определил Джадж для травления SiO2:

Другие статьи из раздела

Седьмая группа периодической системы.

Седьмая группа периодической системы. Из членов данной группы водород был рассмотрен ранее. Непосредственно следующие за ним элементы — F, Сl, Br и I — носят общее название галогенов. К ним же следует отнести и элемент № 85 — астат (Аt). Другую часть группы составляют элементы подгруппы марганца (Мп, Тс, Rе). ...


Химическая связь

ХИМИЧЕСКАЯ СВЯЗЬ, общее определение сил и различ­ных типов взаимодействий, обусловливающих существова­ние двух- и многоатомных соединений — молекул, ионов, радикалов, кристаллов. Главные отличитительные черты X. с.: 1) понижение полной энергии многоатомной системы по срав­нению с энергией изолированных атомов или атомных фраг­...


Лантаноиды

ВВЕДЕНИЕ Судя по последним публикациям, нынче довольно трудно отметить те стороны жизни, где бы не находили применение лантаноиды. На основе лантаноидов получают многие уникальные материалы, которые находят широкое применение в различных областях науки и техники. Например, лантаноиды используют как добавки к стали и в сплавах с другими металлами, в...