Жидкостное химическое травление
Страница 20

При добавлении к травителю спиртов, которые адсорбируются преимущественно на плоскости (111), можно осуществить анизотропное травление в других направлениях. Скорость травления лимитируется диффузией с энергией активации 4 ккал/моль, так как щелочь должна диффундировать сквозь барьер из комплексов кремния.



Рис. 14. Анизотропное (а) и изотропное (б) жидкостное

травление эпитаксиального кремния.

Другой травитель для моно- и поликристаллического кремния состоит из этилендиамина и пирокатехина и имеет энергию активации 8 ккал/моль:

         2NH2(CH2)2NH2+Si+3Æ(OH)®

                            ® 2H2+Si(ÆO2)3+2NH2(CH2)3NH3           (36)

При добавлении к реагентам 1000 ppm (1 ppm=1часть на миллион) ароматического пиразина достигалось увеличение энергии активации до 11 ккал/моль и селективности травления плоскостей (100) и (111) с 10 до 20. Травление кремния применяется также с диагностическими целями для выявления точечных проколов SiO2. Кремний, легированный бором, травится медленнее нелегированного кремния.



Рис. 15. Зависимость угла травления поликремния Q от содержания воды в травителе KOH/спирт/Н2О.
Эффективность сглаживания поверхности поликремния в смеси KOH и спирта зависит от содержания воды в травителе. В безводных спиртах получаются изотропные профили. Степень анизотропии определяется содержанием воды в травители (рис. 15). Изотропные травители для кремния перечислены в табл. 6. Краткие сведения об анизотропных травителях для кремния приведены в табл. 7.

Другие статьи из раздела

Строение вещества

Введение. 2 Закон Авогадро. 3 Закон Бойля-Мариотта. 5 Закон Гей-Люссака. 5 Закон объемных отношений. 5 Закон действующих масс. 7 Зависимость скорости реакции. 7 Закон Кюри. 8 Закон постоянства состава вещества. 10 Закон сохранения массы вещества. 10 Заключение. 12 Введение Когда впервые обнаруживается, что некоторая идея объясняет или...


Лантаноиды

ВВЕДЕНИЕ Судя по последним публикациям, нынче довольно трудно отметить те стороны жизни, где бы не находили применение лантаноиды. На основе лантаноидов получают многие уникальные материалы, которые находят широкое применение в различных областях науки и техники. Например, лантаноиды используют как добавки к стали и в сплавах с другими металлами, в...


Методы очистки сточных вод

Введение Химические и физикохимические методы очистки сточных вод многообразны .При их определенном сочетании можно очищать воду любой загрязненности до любой ...