Жидкостное химическое травление
Страница 2

Изотропное травление происходит неупорядоченно, с одинаковой скоростью по всем пространственным направлениям - L и D. Анизотропное травление проявляется при некоторых отклонениях от изотропного процесса. Желательно, чтобы глубина травления (D) была много больше величины бокового подтравливания (L). Поскольку травление в вертикальном направлении при достижении глубины D прекращается, перетравливание определяется только скоростью удаления материала в боковом направлении. Степень анизотропии можно определить как отношение L/D, и ее величина зависит от многих физических параметров. Жидкостное травление определяется в основном статическими характеристиками типа адгезии и степени задубленности резиста, состава травителя и т.п. При сухом травлении степень анизотропии во многом зависит от таких динамических параметров, как мощность разряда, давление и скорость эрозии резиста. Величина бокового подтравливания в случае жидкостного травления зависит от предшествующих стадий обработки - подготовки поверхности и термозадубливания.



Рис. 2. Анизотропное (слева) и изотропное (справа)

травление. R-резист, S-полложка.

Используя жидкостное травление или недавно разработанный и боле предпочтительный метод плазменного сухого травления, можно формировать различные профили в пленках. Жидкие травители дают изотропные или скошенные профили . Скошенный профиль края лучше подходит для последующего нанесения полости металла поперек такой ступеньки.



Другие статьи из раздела

Электроугольные изделия

Из числа твердых неметаллических проводниковых материалов наибольшее значение имеют материалы на основе углерода (электро­технические угольные изделия, сокращенно электроугольные изделия). К электроугольным изделиям, применяемым в электро­технике и технике связи, относятся: электрические щётки для коллекторов электромашин...


Исследование механизма закрепления гексена, гексина-1 и бензола на поверхности киновари

Введение Целью выполнения данной работы является закрепление и углубление знаний о роли реагентов при флотационном обогащении полезных ископаемых и механизме закрепления флотационных реагентов на поверхности минералов, исходя из строения реагентов и флотируемых минералов. В результате выполнения курсовой работы необходимо знать строение молекул фло...


Разработка и исследование системы автоматического регулирования и управления уровня жидкости в сборнике открытого типа

Техническое задание на разработку и исследование системы автоматического регулирования и управления уровня жидкости в сборнике открытого типа. Вариант 19 1. В сборниках открытого типа (рис.1) 1 как объект: управления уровнем жидкости, поступает расход жидкости Qn и вытекает из него жидкость Qo. Указанные расходы мож...