Жидкостное химическое травление
Страница 2

Изотропное травление происходит неупорядоченно, с одинаковой скоростью по всем пространственным направлениям - L и D. Анизотропное травление проявляется при некоторых отклонениях от изотропного процесса. Желательно, чтобы глубина травления (D) была много больше величины бокового подтравливания (L). Поскольку травление в вертикальном направлении при достижении глубины D прекращается, перетравливание определяется только скоростью удаления материала в боковом направлении. Степень анизотропии можно определить как отношение L/D, и ее величина зависит от многих физических параметров. Жидкостное травление определяется в основном статическими характеристиками типа адгезии и степени задубленности резиста, состава травителя и т.п. При сухом травлении степень анизотропии во многом зависит от таких динамических параметров, как мощность разряда, давление и скорость эрозии резиста. Величина бокового подтравливания в случае жидкостного травления зависит от предшествующих стадий обработки - подготовки поверхности и термозадубливания.



Рис. 2. Анизотропное (слева) и изотропное (справа)

травление. R-резист, S-полложка.

Используя жидкостное травление или недавно разработанный и боле предпочтительный метод плазменного сухого травления, можно формировать различные профили в пленках. Жидкие травители дают изотропные или скошенные профили . Скошенный профиль края лучше подходит для последующего нанесения полости металла поперек такой ступеньки.



Другие статьи из раздела

Строение вещества

Введение. 2 Закон Авогадро. 3 Закон Бойля-Мариотта. 5 Закон Гей-Люссака. 5 Закон объемных отношений. 5 Закон действующих масс. 7 Зависимость скорости реакции. 7 Закон Кюри. 8 Закон постоянства состава вещества. 10 Закон сохранения массы вещества. 10 Заключение. 12 Введение Когда впервые обнаруживается, что некоторая идея объясняет или...


Углерод и его соединения

Роль соединений углерода в природе. В современных условиях, когда в мире интенсивно развивается промышленность, сельское хозяйство и резко возрастает потребление природных энергетических ресурсов, природа не выдержала хамского, беспощадного отношения к ней и закричала. Закричала так, что похоже услышала все сразу. В своей работе я хочу рассмотреть ...


Седьмая группа периодической системы.

Седьмая группа периодической системы. Из членов данной группы водород был рассмотрен ранее. Непосредственно следующие за ним элементы — F, Сl, Br и I — носят общее название галогенов. К ним же следует отнести и элемент № 85 — астат (Аt). Другую часть группы составляют элементы подгруппы марганца (Мп, Тс, Rе). ...