Жидкостное химическое травление
Страница 16



Рис. 9. профили полученные при использовании жидкостного травителя 6:1 NH4/HF с различными масками: а-маска Si3N4; б-фоторезистная маска. В случае (в) травление в смеси 30:1 NH4F/HF проводилось через маску фоторезиста.


HF ¾k1® H+ + F-, k1=10-3,    (28)

HF+F- ¾k2® HF-2, k2=10-1.   (29)

Основной частицей в буферном растворе HF является HF-2. Эта система чувствительна к перемешиванию и, скорее всего, является диффузионно-контролируемой. На рис. 10  показана линейная зависимость скорости растворения от концентрации HF-2 и HF. Таким образом, скорость уменьшения толщины SiO2 равна

d(SiO2)/dt=A(HF)+B(HF-2)+C,   (30)

где А, В и С - постоянные, при 250С равные 2, 5 и 9.7 соответственно.



Рис. 10. Линейность скорости растворения SiO2 при 23оС.
Неразбавленный раствор HF диссоциирует только до 10-3, и скорость травления в нем примерно в 4 раза меньше (0.925 мкм/мин). Неразбавленный раствор HF является также хорошо проникающим веществом, и поэтому он легко диффундирует сквозь резистную пленку, создавая в ней каналы и случайные отслоения от подложки.

Можно представить, что атака бифторидным ионом



поверхности диоксида кремния включает промежуточное состояние



Другие статьи из раздела

Дипольный момент молекулы и связи

Представим себе, что можно найти “центры тяжести” отрицательных и положительных частей молекулы. Тогда условно все вещества можно разбить на две группы. Одну группу составляют те, в молекулах которых оба “центра тяжести” совпадают...


Средства для стирки, мытья и чистки текстильных изделий и предметов домашнего обихода

СРЕДСТВА ДЛЯ СТИРКИ, МЫТЬЯ И ЧИСТКИ ТЕКСТИЛЬНЫХ ИЗДЕЛИИ И ПРЕДМЕТОВ ДОМАШНЕГО ОБИХОДА В эту группу средств входят средства моющие, водосмягчающие, отбеливающие, для чистки. Длительное время для стирки и мытья применяли преимуще­ственно мыло хозяйственное или составы на его основе. В по­следние 20—30 лет ассортимент средств этой группы...


Современные данные о гепарине и его биохимические свойства

Гепарин - чрезвычайно важное соединение, синтезируемое в организме животных и человека. Это биологически активное вещество, антикоагулянт широкого спектра действия, регулятор многих биохимических и физиологических процессов, протекающих в животном организме, в настоящее время приковывает к себе пристальное внимание биологов, физиологов, фармакологов и клиницистов...