Жидкостное химическое травление
Страница 13

                            dM/dt=k1k2SC/(k1+k2)=k3SC                              (27)

Уравнения (24), (25), (26) формально представляют одно и то же уравнение, и поэтому необходимо располагать экспериментальным критерием для различения трех описанных типов травления. Некоторые отличия приводятся ниже.

Характерными признаками реакции, контролируемой диффузией, являются:

         1) Энергия активации зависит от вязкости и равна 1-6 ккал/моль [уравнение 23].

         2) Скорость реакции увеличивается при перемешивании реагента. Исключение составляет эффект автокатолиза NO при травлении кремния в HNO3. Продукты этой реакции (NO) способствуют ее же развитию. Интенсивное перемешивание приводит к уменьшению скорости реакции.

         3) Все материалы независимо от ориентации кристаллических плоскостей травятся с одинаковой скоростью.

         4) Энергия активации при перемешивании растет. Исключением является травление кремния в HNO3 (DH=100 ккал/моль), в ходе которого значительное количество  тепла, выделяемое в результате экзотермической реакции, приводит к увеличению скорости диффузии и скорости травления. Перемешивание в этом случае привело бы к уменьшению скорости травления из-за диссипации тепла.

Характерными признаками процессов, контролируемых скоростью химической реакции [уравнение 24], являются:

         1) зависимость скорости реакции от концентрации травителя;

Другие статьи из раздела

Тепловой эффект химической реакции и его практическое применение

Содержание Введение …………………………………………………………………… 3 1. Тепловой эффект химической реакции…………………………&h...


Стеклопластики

Что такое стеклопластик Стеклопластик - композиционный материал, состоящий из стеклянного наполнителя и синтетического полимерного связующего. Наполнителем служат в основном стеклянные волокна в виде нитей, жгутов (роввингов), тканей, матов, рубленых волокон; связующим - полиэфирные, феноло-формальдегидные, эпоксидные, кремнийорганические смолы, по...


Лантаноиды

ВВЕДЕНИЕ Судя по последним публикациям, нынче довольно трудно отметить те стороны жизни, где бы не находили применение лантаноиды. На основе лантаноидов получают многие уникальные материалы, которые находят широкое применение в различных областях науки и техники. Например, лантаноиды используют как добавки к стали и в сплавах с другими металлами, в...