Жидкостное химическое травление
Страница 13

                            dM/dt=k1k2SC/(k1+k2)=k3SC                              (27)

Уравнения (24), (25), (26) формально представляют одно и то же уравнение, и поэтому необходимо располагать экспериментальным критерием для различения трех описанных типов травления. Некоторые отличия приводятся ниже.

Характерными признаками реакции, контролируемой диффузией, являются:

         1) Энергия активации зависит от вязкости и равна 1-6 ккал/моль [уравнение 23].

         2) Скорость реакции увеличивается при перемешивании реагента. Исключение составляет эффект автокатолиза NO при травлении кремния в HNO3. Продукты этой реакции (NO) способствуют ее же развитию. Интенсивное перемешивание приводит к уменьшению скорости реакции.

         3) Все материалы независимо от ориентации кристаллических плоскостей травятся с одинаковой скоростью.

         4) Энергия активации при перемешивании растет. Исключением является травление кремния в HNO3 (DH=100 ккал/моль), в ходе которого значительное количество  тепла, выделяемое в результате экзотермической реакции, приводит к увеличению скорости диффузии и скорости травления. Перемешивание в этом случае привело бы к уменьшению скорости травления из-за диссипации тепла.

Характерными признаками процессов, контролируемых скоростью химической реакции [уравнение 24], являются:

         1) зависимость скорости реакции от концентрации травителя;

Другие статьи из раздела

Ациклические оксисоединения

Под оксисоединениями понимают органические соединения содержащие в составе своей структурной формулы одну или несколько гидроксильных групп (OH). Таковыми являются все спирты и фенолы.


Поиск структурно-химической информации в Internet и её анализ с помощью прикладных программ

План работы: 1.а) Дифракционные методы-рентгеноструктурный анализ и нейронография-как важнейшие источники структурно-химической информации. ...


Создание асимметричных мембран в виде полых волокон из полиэфирсульфона методом двойной коагуляционной ванны.

Эффективность использования мембранной технологии в процессах разделения жидких и газовых смесей связана не только с характеристиками используемых мембран, но и с конструкцией мембранного модуля, которая, в частности определяется геометрическими характеристиками мембраны. На сегодняшний день можно говорить о четырех типичных геометрических модифика...