Жидкостное химическое травление
Страница 11

где D - коэффициент диффузии в см2/сек (аналогично коэффициенту температуропроводности).Предполагается, что поперечная площадки (S) не меняется в процессе травления. При жидкостном проявлении, однако, обычно происходит отрывание резиста, что




Рис. 8. Растворение твердого тела в жидком травителе. Растворенные молекулы диффундируют сквозь насыщенный слой в область меньшей концентрации.
ведет к увеличению S. При ионно-плазменном или реактивно-ионном травлении может происходить эрозия резиста. Из соотношения Эйнштейна-Стокса следует. что коэффициент диффузии D зависит от вязкости (h):

         D=RT/h,                       (19) dM/dt=скорость травления »

                   »D »1/h,              (20)   hD=constT,                   (21)   h=exp(Evis/RT),             (22)

         Evis=Eetch.                       (23)

Различают три основных типа твердофазного травления :

         1) химический процесс на поверхности идет медленно, и



наблюдаемая скорость является скоростью поверхностного процесса [r>1, уравнение 17];

         2) химический процесс на поверхности настолько быстр, что конвекция и диффузия не могут обеспечивать достаточной концентрации реагента у поверхности, r>1. Наблюдаемая скорость является скоростью переноса (диффузии) к поверхности;

Другие статьи из раздела

Определение молекулярной массы вещества криоскопическим методом

Мы выбрали тему – «Определение молекулярной массы вещества криоскопическим методом». Изучая высокомолекулярные соединения, мы отметили, что их важной характеристикой является молекулярная масса, от которой зависят свойства. Так как в химии формула полимера неопределённая, то есть нет точного количества атомов элементов, а пишется ...


Экстремальные состояния вещества

Введение Свойства вещества в состояниях с необычно высокой концентрацией энергии (такие состояния и соответствующие им внешние условия и называют экстремальными) всегда представляли значительный интерес в различных разделах физики и смежных наук - астрофизики, геофизики, некоторых прикладных дисциплин. В п...


Синтез 1,3,5-трийодбензола

1. Введение В последнее десятилетие арилйодиды находят самое широкое применение в органическом синтезе, особенно в синтетических процессах, катализируемых комплексами переходных металлов. Это обусловлено тем, что арилйодиды вступают в реакции окислительного присоединения много легче, чем соответствующие бромиды и тем более хлориды. С другой стороны...