Жидкостное химическое травление
Страница 11

где D - коэффициент диффузии в см2/сек (аналогично коэффициенту температуропроводности).Предполагается, что поперечная площадки (S) не меняется в процессе травления. При жидкостном проявлении, однако, обычно происходит отрывание резиста, что




Рис. 8. Растворение твердого тела в жидком травителе. Растворенные молекулы диффундируют сквозь насыщенный слой в область меньшей концентрации.
ведет к увеличению S. При ионно-плазменном или реактивно-ионном травлении может происходить эрозия резиста. Из соотношения Эйнштейна-Стокса следует. что коэффициент диффузии D зависит от вязкости (h):

         D=RT/h,                       (19) dM/dt=скорость травления »

                   »D »1/h,              (20)   hD=constT,                   (21)   h=exp(Evis/RT),             (22)

         Evis=Eetch.                       (23)

Различают три основных типа твердофазного травления :

         1) химический процесс на поверхности идет медленно, и



наблюдаемая скорость является скоростью поверхностного процесса [r>1, уравнение 17];

         2) химический процесс на поверхности настолько быстр, что конвекция и диффузия не могут обеспечивать достаточной концентрации реагента у поверхности, r>1. Наблюдаемая скорость является скоростью переноса (диффузии) к поверхности;

Другие статьи из раздела

Мембранное равновесие

Мембранное равновесие, связанное с различием концентрации солей внутри и вне клеток, известно давно. В 1911 г. Ф. Доннан объяснил это явление, впоследствии названное его именем. Мембранное равновесие Доннана связано с переносом некоторого количества вещества низкомолекулярного электролита внутрь пространства, содержащего полимер, и, вследствие этог...


Теплопроводность в сплошных средах и двухфазных, продуваемых и непродуваемых телах (слоях)

Основной закон теплопроводности. Физический смысл коэффициента теплопроводности Основным законом передачи тепла теплопроводностью является закон Фурье. Согласно этому закону количество тепла dQ, передаваемое посредством теплопроводности через элемент поверхности dF, перпендикулярный тепловому потоку, за время dt прямопропорционально температ...


Силикаты

Природные силикаты образовались в основном из расплавленной магмы. Предпологается, что при затвердевании магмы из нее сначала выкристаллизовывались силикаты, более бедные кремнеземом -ортосиликаты,затем после израсходования катионов выделялись силикаты с...