Жидкостное химическое травление
Страница 11

где D - коэффициент диффузии в см2/сек (аналогично коэффициенту температуропроводности).Предполагается, что поперечная площадки (S) не меняется в процессе травления. При жидкостном проявлении, однако, обычно происходит отрывание резиста, что




Рис. 8. Растворение твердого тела в жидком травителе. Растворенные молекулы диффундируют сквозь насыщенный слой в область меньшей концентрации.
ведет к увеличению S. При ионно-плазменном или реактивно-ионном травлении может происходить эрозия резиста. Из соотношения Эйнштейна-Стокса следует. что коэффициент диффузии D зависит от вязкости (h):

         D=RT/h,                       (19) dM/dt=скорость травления »

                   »D »1/h,              (20)   hD=constT,                   (21)   h=exp(Evis/RT),             (22)

         Evis=Eetch.                       (23)

Различают три основных типа твердофазного травления :

         1) химический процесс на поверхности идет медленно, и



наблюдаемая скорость является скоростью поверхностного процесса [r>1, уравнение 17];

         2) химический процесс на поверхности настолько быстр, что конвекция и диффузия не могут обеспечивать достаточной концентрации реагента у поверхности, r>1. Наблюдаемая скорость является скоростью переноса (диффузии) к поверхности;

Другие статьи из раздела

Исследования электролитов кадмирования стали и других металлов

ВВОДНАЯ ЧАСТЬ Cd - довольно мягкий металл серебристо-белого цвета несколько тверже олова но мягче цинка , вальцуется в листы , хорошо куется и легко поддается полированию. Чистый ,свободный от посторонних примесей , металлический Cd также , как и олово при сгибании издает...


Современные дизельные, судовые и тяжелые моторные топлива

СОДЕРЖАНИЕ Глава 1 Дизельные топлива. 1. Свойства дизельных топлив для наземной техники: 1.1 Самовоспламеняемость (цетановое число) 1.2 Испаряемость (фракционный состав); 1.3 Вязкость; 1.4 Низкотемпературные свойства; 1.5 Смазывающие (противоизносные); 1.6&nbs...


Водные ресурсы

Водная среда Водная среда включает поверхностные и подземные воды. Поверхностные воды в основном сосредоточены в океане, содержанием 1 млрд. 375 млн. км3 - около 98% всей воды на Земле. Поверхность океана (акватория) составляет 361 млн. км2. Она примерно в 2,4 раза больше площади суши территории, занимающей 149 млн. км2. Вода в океане соленая, прич...