Жидкостное химическое травление
Страница 11

где D - коэффициент диффузии в см2/сек (аналогично коэффициенту температуропроводности).Предполагается, что поперечная площадки (S) не меняется в процессе травления. При жидкостном проявлении, однако, обычно происходит отрывание резиста, что




Рис. 8. Растворение твердого тела в жидком травителе. Растворенные молекулы диффундируют сквозь насыщенный слой в область меньшей концентрации.
ведет к увеличению S. При ионно-плазменном или реактивно-ионном травлении может происходить эрозия резиста. Из соотношения Эйнштейна-Стокса следует. что коэффициент диффузии D зависит от вязкости (h):

         D=RT/h,                       (19) dM/dt=скорость травления »

                   »D »1/h,              (20)   hD=constT,                   (21)   h=exp(Evis/RT),             (22)

         Evis=Eetch.                       (23)

Различают три основных типа твердофазного травления :

         1) химический процесс на поверхности идет медленно, и



наблюдаемая скорость является скоростью поверхностного процесса [r>1, уравнение 17];

         2) химический процесс на поверхности настолько быстр, что конвекция и диффузия не могут обеспечивать достаточной концентрации реагента у поверхности, r>1. Наблюдаемая скорость является скоростью переноса (диффузии) к поверхности;

Другие статьи из раздела

Свойства и получение ксантогенатов целлюлозы

Введение.......................................................................................................... Строение макромолекулы целлюлозы......................................................... 1. Получение ксантогенатов целлюлозы.................................................... 1.1 Условия получения ксантогенатов ц...


Чудесное топливо будущего

Реферат по химии


Эмульсии

Эмульсиями называются дисперсные системы, в которых дисперсионная среда и дисперсная фаза находятся в жидком состоянии. Эмульсии являются обычно грубодисперсными системами. Такие системы часто встречаются в природе, например, молоко, млечный сок каучуконосных растений. В первом случае жир...